Elektromagnetische Mikroaktoren: Konzepte, Herstellung, Charakterisierung Und Anwendungen

ISBN: 3832292225, 9783832292225
Author/Editor(s): Andreas Waldschik
Publisher: Shaker ( Aachen )
Published/Copyright Year: 2010
Language: German
Series: Berichte Aus Der Mikro- Und Feinwerktechnik ( Volume 28 )
Number of pages: 140
Categories:
(DE-588)4177755-4 > Reluktanzmotor > Gnd
(DE-588)4620161-0 > Mikroaktor > Gnd
(DE-588)4014238-3 > Elektroantrieb > Gnd
(DE-588)4151832-9 > Elektromagnet > Gnd
(DE-588)4184232-7 > Synchronmotor > Gnd

Mikrotechnisch Hergestelltes Fluxgate-Magnetometer Für Die Winkelmessung

ISBN: 3832292012, 9783832292010
Author/Editor(s): Maren Ramona Kirchhoff
Publisher: Shaker ( Aachen )
Published/Copyright Year: 2010
Language: German
Series: Berichte Aus Der Mikro- Und Feinwerktechnik ( Volume 27 )
Number of pages: 111
Categories:
(DE-588)4474076-1 > Winkelmesser > Gnd
(DE-588)4330365-1 > Saturationskernmagnetometer > Gnd
(DE-588)4209037-4 > Prüfstand > Gnd
(DE-588)4267986-2 > Geräteentwicklung > Gnd

Microplasma Stamps - An Atmospheric Pressure Plasma Source For The Area Selective Modification Of Surfaces

ISBN: 3832280081, 9783832280086
Author/Editor(s): Nina Lucas
Publisher: Shaker ( Aachen )
Published/Copyright Year: 2009
Language: English
Series: Berichte Aus Der Mikro- Und Feinwerktechnik ( Volume 23 )
Number of pages: 166
Categories:
(DE-588)4042908-8 > Oberflächenbehandlung > Gnd
(DE-588)7544606-6 > Mikroplasma > Gnd
(DE-588)4374657-3 > Prägen > Gnd

Induktive Mikrosysteme: Technologieentwicklung Und Anwendung

ISBN: 3832220437, 9783832220433
Author/Editor(s): Volker Seidemann
Publisher: Shaker ( Aachen )
Published/Copyright Year: 2003
Language: German
Series: Berichte Aus Der Mikro- Und Feinwerktechnik ( Volume 9 )
Number of pages: 146
Categories:
(DE-588)4226249-5 > Spulensystem > Gnd
(DE-588)4316091-8 > Galvanische Abscheidung > Gnd
(DE-588)4561097-6 > Mikrosensor > Gnd
(DE-588)4620161-0 > Mikroaktor > Gnd
(DE-588)4221617-5 > Mikrosystemtechnik > Gnd
(DE-588)4174516-4 > Fotolithografie > G:Halbleitertechnologie > Gnd

10 Years Of Teaching And Research, 5 Years Of Clean Room Operation: Report 1991-2001

ISBN: 3832202838, 9783832202835
Author/Editor(s): S Buttgenbach (1945-)
Publisher: Shaker ( Aachen )
Published/Copyright Year: 2002
Language: English
LCCN: 2004464711
Series: Berichte Aus Der Mikro- Und Feinwerktechnik ( Volume Bd. 7 )
Number of pages: 97
Categories:
Technische Universitat Braunschweig > Institut Fur Mikrotechnik
Microelectronics > Research
Clean Rooms

Flüssigkeitssensoren Auf Der Basis Mikroakustischer Wellenleitermoden

ISBN: 3826569725, 9783826569722
Author/Editor(s): Falk Herrmann
Publisher: Shaker ( Aachen )
Published/Copyright Year: 2000
Language: German
Series: Berichte Aus Der Mikro- Und Feinwerktechnik ( Volume 4 )
Number of pages: 165
Categories:
(DE-588)4456792-3 > Love-Welle > Gnd
(DE-588)4038824-4 > Sensor > Gnd
(DE-588)4065317-1 > Wellenleiter > Gnd
(DE-588)4017621-6 > Flüssigkeit > Gnd
(DE-588)4077447-8 > Siliciumdioxid > Gnd
(DE-588)4267316-1 > PECVD-Verfahren > Gnd

Technologie Zur Herstellung Dreidimensionaler Siliziumstrukturen

ISBN: 3826574133, 9783826574139
Author/Editor(s): Jens Hoche
Publisher: Shaker ( Aachen )
Published/Copyright Year: 2000
Language: German
Series: Berichte Aus Der Mikro- Und Feinwerktechnik ( Volume 5 )
Number of pages: 142
Categories:
(DE-588)4222074-9 > Trockenätzen > Gnd
(DE-588)4174821-9 > Plasmaätzen > Gnd
(DE-588)4181368-6 > Siliciumbauelement > Gnd
(DE-588)4176074-8 > Prozessoptimierung > Gnd
(DE-588)4205811-9 > Mikromechanik > Gnd
(DE-588)4174516-4 > Fotolithografie > G:Halbleitertechnologie > Gnd

Entwicklungsumgebung Für Den Rechnerunterstützten Entwurf Von Mikrokomponenten

ISBN: 3826579933, 9783826579936
Author/Editor(s): Lars Steffensen
Publisher: Shaker ( Aachen )
Published/Copyright Year: 2000
Language: German
Series: Berichte Aus Der Mikro- Und Feinwerktechnik ( Volume Bd. 6 )
Number of pages: 136
Categories:
CAD > Gtt
Hochschulschrift > Gtt
Mikrosystemtechnik > Gtt
(DE-588)4332374-1 > Nassätzen > Gnd
(DE-588)4221617-5 > Mikrosystemtechnik > Gnd
(DE-588)4227659-7 > Dreidimensionales CAD > Gnd
(DE-588)4077445-4 > Silicium > Gnd

NdYAG-Laserstrukturierung In Der Silizium-Mikromechanik

ISBN: 3826549783, 9783826549786
Author/Editor(s): Stefan Dauer
Publisher: Shaker ( Aachen )
Published/Copyright Year: 1999
Language: German
Series: Berichte Aus Der Mikro- Und Feinwerktechnik ( Volume 3 )
Number of pages: 127
Categories:
(DE-588)4228064-3 > Neodym-YAG-Laser > Gnd
(DE-588)4279134-0 > Laserablation > Gnd
(DE-588)4294605-0 > Wafer > Gnd
(DE-588)4154950-8 > Fokussierung > Gnd
(DE-588)4077445-4 > Silicium > Gnd
(DE-588)4157819-3 > Gold > Gnd
(DE-588)4136925-7 > Dünne Schicht > Gnd